
當前位置:首頁 >產品中心>可燃氣體系列>固定式可燃氣體檢測儀>YF-8500-H2奕帆固定式半導體晶圓制造氫氣檢測儀廠家





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深圳奕帆科技一體式銀色固定式氫氣檢測儀,專為半導體、光伏晶圓制造行業打造,芯片生產 CVD 沉積爐、擴散爐、氫氣載氣管道、高純氣柜均會使用大量氫氣作為還原保護氣體,管道焊縫、閥門、接頭微量泄漏存在車間爆炸、產品報廢雙重風險,本款銀色防爆監測設備可全天候精準監測高純氫氣泄漏,機身銀色啞光金屬外殼適配潔凈車間無塵裝修,無掉屑、無銹蝕污染晶圓生產環境,通過潔凈車間設備防塵防腐標準。
儀器搭載高精度進口氫氣專用傳感元件,抗氮氣、氬氣、硅烷等工藝氣體交叉干擾,半導體車間混合工藝氣體環境下無誤報;分微量 0-1000ppm 低量程、0-100% LEL 可燃量程兩種規格,晶圓車間微量高純氫氣泄漏選用 ppm 量程,儲罐、管道大泄漏監測選用 LEL 量程,分辨率最高 0.1ppm,可捕捉毫升級微小泄漏,提前預警避免氫氣滲入潔凈室污染晶圓。整機電路采用無磁屏蔽設計,不會干擾半導體車間精密電子設備、檢測儀器正常工作,潔凈車間嚴苛電磁環境穩定運行。
機身全密封銀色防爆結構,無外露縫隙積塵,日常無塵布擦拭即可完成清潔,滿足半導體潔凈車間運維標準;IP66 防塵防水,抵御車間清洗噴淋水汽、工藝微量腐蝕霧氣,-20℃~50℃恒溫區間適配潔凈車間常年控溫工況。正面液晶屏幕支持中英文雙語切換,外資半導體工廠、國產晶圓廠區均可適配;紅外遙控器遠程調試,潔凈車間無需頻繁拆卸儀器破壞無塵環境,降低車間潔凈度維護成本。
通訊接口支持 RS485 有線遠傳,可對接半導體工廠 MES 生產系統、環保在線廢氣監測平臺,氫氣泄漏數據實時上傳管控后臺,超標自動聯鎖氫氣供氣管道切斷閥、潔凈室排風系統,同步推送報警記錄至中控值班室,第一時間處置泄漏隱患;模塊化傳感器設計,更換耗材無需整機拆卸,潔凈車間停機維護時長大幅縮短。適配光伏電池片燒結車間、半導體芯片制造廠房、高純氫氣供氣站、電子實驗室。
奕帆固定式半導體晶圓制造氫氣檢測儀廠家可根據潔凈車間無塵等級定制無油污、無碎屑專用機型,提供整套車間多點氫氣監測布局方案,原廠兩年質保,定期上門標定校準服務。
奕帆固定式半導體晶圓制造氫氣檢測儀廠家
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