奕帆科技銀色固定式溴化氫在線檢測儀專為半導體干法刻蝕、濕法清洗產線研發，溴化氫作為芯片制程核心蝕刻氣體，具備強腐蝕性、人體微量吸入即可造成呼吸道不可逆損傷，半導體車間潔凈、高溫高濕、多酸性氣體共存工況對檢測設備抗干擾、防腐、穩定性要求嚴苛，本款銀色不銹鋼機身適配無塵潔凈車間使用標準，外殼電解拋光處理，無積灰死角，符合 Class5 潔凈車間安裝要求，不易吸附蝕刻酸堿廢氣，長期使用不生銹、不氧化發黃，外觀銀色啞光質感，適配各類潔凈產線設備布局。

核心傳感單元采用定制化 HBr 專用電化學模組，針對半導體車間氟氣、氯氣、硅烷共存環境優化抗干擾程序，過濾共存氣體信號干擾，保證溴化氫濃度數據零偏移；量程支持 0-10ppm 職業接觸限值專屬檔位，貼合半導體 TLV-TWA 3ppm 安全管控標準，分辨率 0.01ppm，可精準監測刻蝕腔體密封微量滲漏；整機電路做二級防雷、防靜電處理，抵御車間高頻蝕刻設備電磁脈沖干擾，數據傳輸穩定不丟包，24 小時不間斷在線采集蝕刻區域氣體濃度，液晶屏同步存儲 7 天濃度變化曲線，方便工藝人員追溯泄漏時段，優化腔體密封維護周期。

整機防爆等級 Ex dⅡCT6，IP66 防水防塵，產線噴淋清洗、水汽彌漫環境下內部電路不受侵蝕；標配 4-20mA、RS485 雙路信號輸出，可直接接入半導體中央控制系統，聯動刻蝕機臺安全聯鎖，濃度超 1ppm 低報警自動開啟潔凈間新風系統，超過 3ppm 高報警自動切斷溴化氫供氣管道、啟動氮氣吹掃腔體，杜絕氣體擴散至潔凈車間。設備操作全部依靠配套紅外遙控器，無需打開銀色防爆外殼，避免無塵車間開蓋帶來粉塵污染，自動校正功能，每月自動校準基線，減少人工頻繁標定工序，適配半導體產線少人工值守自動化運維模式。

機身銀色一體化壓鑄結構，體積緊湊不占用產線操作空間，支持吸頂、側壁、管道流通式三種安裝，蝕刻腔體、廢氣排放支管、潔凈車間通道均可定點布設；工作溫濕度覆蓋 - 20~50℃、10%-95% RH 非凝露環境，適配刻蝕設備 80-120℃散熱周邊高溫區域；

奕帆半導體蝕刻工藝溴化氫檢測儀廠家出廠配套全套安裝支架、防腐采樣探頭、屏蔽通訊線纜，整機通過半導體防腐可靠性測試，證件齊全，符合電子制造行業環保安監驗收標準，有效解決半導體產線溴化氫泄漏難察覺、人工巡檢滯后、超標無法自動聯鎖管控痛點，兼顧潔凈外觀、高精度檢測、自動化聯動三大核心需求，是 3nm-90nm 全制程芯片工廠標準化配套監測設備。

奕帆半導體蝕刻工藝溴化氫檢測儀廠家