深圳奕帆科技手提式溴化氫檢測儀，針對晶圓制造、半導(dǎo)體干法刻蝕、濕法清洗工藝研發(fā)專屬檢測設(shè)備，半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中溴化氫作為核心蝕刻氣體，腔室密封失效、管路接頭滲漏會持續(xù)釋放腐蝕性廢氣，不僅腐蝕精密晶圓、損毀設(shè)備，長期接觸會造成操作人員肺部、眼部損傷，同時半導(dǎo)體工廠潔凈車間、廢氣處理站、危化氣瓶儲存間都需要移動式手提檢測儀開展日常點檢、設(shè)備停機(jī)檢修、廢氣出口濃度抽檢工作。本設(shè)備一體化手提機(jī)身設(shè)計，無復(fù)雜外接管線，機(jī)身體積緊湊，潔凈車間內(nèi)攜帶無磕碰風(fēng)險，不會劃傷精密生產(chǎn)設(shè)備，適配無塵車間、負(fù)壓工藝間、廢氣管道巡檢全場景。
核心傳感單元采用抗高濕、抗有機(jī)蒸汽專用電化學(xué) HBr 傳感器，搭載奕帆自研溫濕度自適應(yīng)補(bǔ)償算法，針對半導(dǎo)體車間 40%-90% 高濕恒溫工況，消除溫濕度波動帶來的數(shù)據(jù)漂移，檢測精度穩(wěn)定控制在 ±2% FS，分辨率低至 0.001ppm，精準(zhǔn)識別刻蝕腔微量微量滲漏，避免微量溴化氫累積造成批量晶圓報廢。主動泵吸式采樣結(jié)構(gòu)，內(nèi)置防堵塞自保護(hù)泵體，管路堵塞自動彈窗報警，及時提醒操作人員清理過濾器；配套 PTFE 耐腐蝕采樣軟管，耐受氫溴酸霧氣腐蝕，可伸入密閉刻蝕腔體、高空廢氣排放管道、地下排風(fēng)風(fēng)道遠(yuǎn)距離采樣，無需人員進(jìn)入密閉高危空間。機(jī)身標(biāo)配雙層防腐蝕過濾模組，過濾棉、分子篩雙重防護(hù)，隔絕潔凈車間粉塵、酸性霧氣，保護(hù)傳感器不受工藝廢氣腐蝕，大幅降低半導(dǎo)體工廠高頻更換傳感器的運營成本。
整機(jī)通過無塵車間專用防爆、防靜電認(rèn)證，IP66 全機(jī)身防水防塵，防靜電外殼不會產(chǎn)生靜電擊穿晶圓風(fēng)險，本安防爆電路設(shè)計，刻蝕車間易燃易爆環(huán)境可全天候使用；機(jī)身輕量化設(shè)計，整機(jī)重量僅 3.2kg，長時間手持巡檢手臂無負(fù)重疲勞，加厚防滑手提握把，佩戴無塵手套也能穩(wěn)定握持操作。3.5 寸高清工業(yè)彩屏，低反光護(hù)眼屏幕，強(qiáng)光潔凈車間、弱光工藝間均可清晰讀取數(shù)值，全中文簡易操作按鍵，無需專業(yè)培訓(xùn)，車間一線操作工即可獨立完成零點校準(zhǔn)、數(shù)據(jù)查看、報警參數(shù)設(shè)置；實時同步顯示實時濃度、瞬時峰值、溫濕度、TWA/STEL 安全限值，數(shù)據(jù)自動留存，方便工藝工程師復(fù)盤泄漏故障點位。
三重安全報警系統(tǒng)：高分貝聲光 + 機(jī)身振動報警，靜音潔凈環(huán)境、大功率設(shè)備噪音環(huán)境下均可快速識別預(yù)警，超標(biāo)瞬間同步鎖定峰值濃度，記錄泄漏發(fā)生時間、點位，便于設(shè)備維修人員定點檢修。大容量本地存儲支持存儲 15 萬條監(jiān)測數(shù)據(jù)，每條記錄自帶時間、溫濕度、濃度完整信息，Type-C 數(shù)據(jù)線直連電腦導(dǎo)出 Excel 臺賬，可直接用于廠區(qū) EHS 安全月報、環(huán)保排污數(shù)據(jù)上報；可選配藍(lán)牙微型打印機(jī)，車間現(xiàn)場直接打印檢測報告，滿足客戶、安監(jiān)現(xiàn)場核查需求。供電系統(tǒng)搭載耐高溫 8500mAh 鋰電池，連續(xù)穩(wěn)定工作 18 小時，滿足半導(dǎo)體工廠全天多車間巡回點檢，快充 2 小時即可滿電，兼容無塵車間通用低壓充電設(shè)備，充電期間設(shè)備正常監(jiān)測不中斷工作。
奕帆半導(dǎo)體干法刻蝕車間溴化氫檢測設(shè)備廠家設(shè)備出廠全流程校準(zhǔn)，附帶第三方計量檢測報告、防爆證、環(huán)保設(shè)備備案資料，提供一年整機(jī)質(zhì)保、傳感器兩年保修，全國上門校準(zhǔn)、遠(yuǎn)程實時技術(shù)支持，為半導(dǎo)體行業(yè)溴化氫工藝安全、廢氣環(huán)保達(dá)標(biāo)提供穩(wěn)定可靠的手提檢測解決方案。
奕帆半導(dǎo)體干法刻蝕車間溴化氫檢測設(shè)備廠家
產(chǎn)品型號：YF-8500-HBr
